应用领域:磁控溅射电源.溅射电源单元包括电压产生部分,该电压产生部分产生负极输出端和正极输出端之间的溅射电压,还包括电路部分,该电路部分在即使在负极输出端和正极输出端之间产生电弧放电的情况下也能减小...
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